混合氣體質量流量計是一種精確測量氣體流量的儀表，用于對于氣體的質量流量進行精密丈量和控制；具有質量流量計的功能，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。而質量流量控制器就是一個穩流裝置，是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩流裝置。
氣體質量流量計(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對于氣體的質量流量進行精密丈量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管丈量景象形象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。
混合氣體質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用。此外，質量流量計是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。
工作原理：
它是利用科里奧利原理，即利用測量管下半部分振動頻率相位差正比于質量流量以測量流量，利用測量管諧振頻率與管中被測介質密度間的函數關系求取密度，從此兩個基本參數質量流量qm和密度ρ衍生得出體積流量qv(=qm/e),若被測液體是兩種有一定密度差相溶或不相溶混合液體，經密度演算得出一種液體在混合液中的濃度，如油甲油水混合液的含水率，在測量液固雙相流中可測出含固率。
由原理可知質量流量計在流量計量行業一般是把可以不通過其他參數補償而直接測量流體介質質量流量的。其顯著的特點就是可以直接測得介質的質量流量，而不受介質工作狀態的壓力、溫度等因素的影響。
